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~2010
4 "기판 관통 식각방법(Method of through-etching substrate)"
민경덕, 주영창, 송성진, 김세준, 민홍석, 박건중
서울대학교 산학협력재단, ~2010
3 "Method of Through-Etching Substrate(US)"
송성진
송성진, ~2010
2 "Substrate Penetration Etching Method(JP)"
민경덕
REP Korea, ~2010
2010
1 "업데이트 중입니다."

2010
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